标准模式
工业规格
适合科研中心

产品规格

波长范围	400~800nm
测量范围	100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
透镜大小	M5x,M10x
测量光斑尺寸	40㎛，20㎛
测量层数	3
样品台尺寸	200mmX200mm
X,Y,Z机制	辊式导板 移动距离：200mmX200mm
手动聚焦模块	同轴粗微调焦控制
可选部分	SRM(标准参考样片) 光学透镜 M50X(光斑尺寸:4㎛) CCD摄像头 透射功能 平台扩至12" 防震台

产品特征

快速测量&操作简便 非接触&非破坏性 良好的重复性和再现性 测量可达3层&测量精度良好 测量平台尺寸加大 Z轴方向自动型

应用领域

半导体:Poly-Si,GaAs,GaN,InP,ZnS,SiGe... 介质材料:SiO2,Si3N4,TiO2,ITO,ZrO2,BTS,HfO2 Polymer:PVA,PET,PP,PR... LCD:a-Si,n+a-Si,氧化物，ITO,屏间隙，光刻胶与酰亚胺薄膜，石英 Optical Coating:Hardness涂层，增透膜,Filters,Packing & Functional Film Recordable 材料：光感导鼓，摄像头，光盘... 其他：示波管上的光阻薄膜材料与掩膜板，薄金属膜，激光镜,ALQ3...