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商品名称:3D轮廓测量仪OV-SPI500
 
 3D轮廓测量仪OV-SPI500
  商品编号: 2013181615
  商品规格:
  商品品牌: K-MAC
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  商品库存: 10台 热卖中
  商品折扣: 0折 ( 赠送积分0分 )
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VIP 价:
 
 
产品规格

扫描范围 100㎛ (范围可以扩大到300㎛)
扫描速度 10㎛/sec (在不移动的情况下)
垂直分辨率 0.1nm
横向分辨率 0.2㎛ at 50X Lens (像素分辨率)
可测量面积

940㎛ X 710 (5X 透镜)

晶片尺寸 4"-12"
3D CCD

8 bit

透镜 10X,20X,50X
可选部分

可测量膜厚

产品特征

白光干涉法
表面轮廓、折射率、厚度一体测量
非接触&非破坏
2D&3D图像
实时测量
LED光适用
亚纳米级垂直分辨率
ROI creation

应用领域

半导体晶片
液晶产品(CS、LGP、BIU)
微机电系统
光纤产品
数据存储盘(HDD、DVD、CD)
材料研究
精密加工表面
生物医学工程

 
自动控制颜色测量系统 SCM6000
扫描电镜EM-30
有机保焊膜OSP涂层厚度测量仪ST2080-OSP
薄膜厚度测量仪 ST2000-DLXn 手动型
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